시뮬레이션1 반도체 소자 simulator, TCAD 이번 글에서는 반도체 소자 simulator인 TCAD에 대해 소개해 드리도록 하겠습니다.TCAD는 Technology Computer-Aided Design의 약자로, 컴퓨터 시뮬레이션을 통해 반도체 소자와 공정을 최적화하는 것을 의미합니다. 대표적인 TCAD tool은 Synopsys 사와 Silvaco 사의 TCAD 프로그램이 있는데요, 제가 자주 사용한 tool인 Synopsys 사의 Sentaurus TCAD 프로그램 기준으로 설명드리겠습니다.먼저 TCAD가 무엇인지 더 자세히 알아보겠습니다.TCAD는 Si 웨이퍼 등 반도체 소자의 구조를 작은 격자 (mesh) 로 나누어서 Poisson equation, continuity equation 등 편미분 방정식의 해를 구해 소자의 전기적 특성을 알.. 2024. 12. 23. 이전 1 다음
