salicide1 반도체 공정(7)- 금속 배선 공정 [반도체 8대 공정 ⑥] 이번 글에서는 소자와 전원, 소자와 소자를 연결하는 금속 배선 공정에 대해 살펴보겠습니다. 금속 배선은 소자들과 회로를 연결하는 공정으로, BEOL에 속합니다. 먼저, 금속 배선 공정에서 알아둬야 할 용어들부터 정리해 보겠습니다.ContactContact은 layout 상에서 ☒로 표시되는 것으로, 서로 다른 물질이 접합하는 부분입니다. 이러한 contact을 통해서 전기적 신호들이 들어오고 나가게 됩니다.InterconnectionContact들을 서로 연결한 금속 라인을 의미합니다.이러한 interconnection을 만드는 공정이 바로 금속 배선 공정입니다.금속 배선 공정은 gate, source, drain interconnection과 같이 트랜지스터끼리 연결하여 원하는 형태의 회로를 구현하거나.. 2025. 2. 18. 이전 1 다음
